[发明专利]一种静电吸盘及其制造方法

摘要

本发明提供一种静电吸盘及其制造方法，所述制造方法包括步骤：提供一冷却基座，于所述冷却基座上制作包含有依次层叠的导热胶、绝缘层、电极层、电介质层、以及碳化层的多层结构，其中，将形成有电极层的电介质层进行一次烧结后再与绝缘层进行二次烧结，实现原子间的结合。本发明的静电吸盘的加工工艺与传统的加工工艺相比大大提高了其粘合强度，由于采用陶瓷烧结工艺，使得静电吸盘气泡的存在大大降低，从而可以有效降低废品率。

主权项

1.一种静电吸盘的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括步骤：提供一电介质层，于所述电介质层的一个表面上采用物理方法形成电极层；将形成有电极层的电介质层进行一次烧结；将绝缘层与一次烧结完成后的电介质层及电极层对齐后进行二次烧结，将电极层置于电介质层与绝缘层之间；将二次烧结后的电介质层、电极层及绝缘层中的绝缘层通过导热胶与冷却基座进行粘合；将电介质层、电极层及绝缘层与所述冷却基座粘合后，通过溅射或蒸镀工艺在所述电介质层表面形成碳化层。