[发明专利]一种石墨烯基压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯基压力传感器，该压力传感器自下而上依次有PVDF压电薄膜、第一石墨烯层、氮化硼层和第二石墨烯层，还具有第一电极和第二电极。其制备方法步骤为：先转移石墨烯到PVDF压电薄膜上；然后转移氮化硼到该石墨烯层上；再在氮化硼上转移石墨烯；最后在上下两层石墨烯上制作电极。本发明的压力传感器利用石墨烯材料的高透光性及高导电性，并结合PVDF压电薄膜的压电性质，不需要外加电源便可工作，可以通过电压或者电流检测压力；同时可以做到超薄和半透明，同时也易于集成应用。

主权项

一种石墨烯基压电传感器，其特征在于自下而上依次有PVDF压电薄膜（1）、第一石墨烯层（2）、氮化硼层（3）和第二石墨烯层（4），所述的压电传感器还设有第一电极（5）和第二电极（6），第一电极（5）设置在第一石墨烯层（2）上，第二电极（6）设置在第二石墨烯层（4）上。