[发明专利]一种基于碲酸盐玻璃的光学微腔及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于碲酸盐玻璃的光学微腔及其制备方法。以TeO2作为主要组分，并掺杂有Re2O3氧化物，Re为稀土元素，还可包含有ZnO、Na2O、BaO、TiO2和Al2O3中的一种或者几种的混合作为次要组分。光学微腔通过对硅片上的稀土掺杂碲酸盐玻璃薄膜进行分步刻蚀制成光学微腔，稀土掺杂碲酸盐玻璃薄膜通过溶胶凝胶法制备得到。本发明克服了传统基于硅酸盐玻璃材料的光学微腔非线性效应差，稀土掺杂发光效率低等缺点，易于实现高品质因子腔体和低阈值激光，该微腔尺寸可控，结构稳定，具有微型化，易集成和便于保存等特点，而且制备方法简单高效，容易操作，能够实现大面积制备。

主权项

一种基于碲酸盐玻璃的光学微腔的制备方法，其特征在于：通过对硅片上的稀土掺杂碲酸盐玻璃薄膜进行分步刻蚀制成光学微腔；所述的分步刻蚀的具体制备步骤包括：1）在稀土掺杂碲酸盐玻璃薄膜表面涂一层光刻胶，利用圆形掩膜版进行曝光和显影；2）再放入HF溶液中进行刻蚀处理，形成碲酸盐玻璃圆盘；3）然后依次用丙酮和异丙醇去除覆盖在碲酸盐玻璃圆盘上的光刻胶，并用蒸馏水清洗，烘干；4）在步骤3）中清洗烘干后用SF6气体刻蚀硅基，将支撑圆盘的柱子直径刻蚀到40~80μm形成得到微盘状的光学微腔。