[发明专利]轻量化大抽速离子泵有效
| 申请号： | 201510024775.7 | 申请日： | 2015-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN104952685B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 黄刚;李玉欣 | 申请（专利权）人： | 中国航天员科研训练中心;上海三井真空设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J41/20 | 分类号： | H01J41/20 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)32257 | 代理人： | 李广 |
| 地址： | 100000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子泵，尤其涉及一种轻量化大抽速离子泵，包括泵体，泵体上设有微型高压电极；泵体内设有阳极筒组件、阴极钛板和磁体部件，磁体部件由磁钢和导磁铁组成；泵体为钛合金泵体；磁钢为钕铁硼磁钢；导磁铁整体呈矩形框，由两个U形钢板拼接而成，每个U形钢板都是由一底板和位于所述底板两侧的翼板一体成型，从每个翼板的转角处那端到该翼板另一端的厚度逐渐减小；泵体的后侧设置有一个方条，方条的中心与阳极筒组件焊接，方条的两侧焊接凸耳；微型高压电极采用YV2TJ电连接器和GFK‑10KV‑26导线，经过优化设计，本发明的离子泵可以达到现有离子泵的抽速，而重量仅为3KG。 | ||
| 搜索关键词： | 量化 大抽速 离子 | ||
【主权项】：
轻量化大抽速离子泵，包括泵体，泵体上设有微型高压电极；泵体内设有阳极筒组件、阴极钛板和磁体部件，磁体部件由磁钢和导磁槽钢组成；其特征在于：所述泵体为钛合金泵体；所述磁钢为钕铁硼磁钢；所述导磁槽钢整体呈矩形框，由两个U形钢板拼接而成，每个U形钢板都是由一底板和位于所述底板两侧的翼板一体成型，从每个翼板的转角处那端到该翼板另一端的厚度逐渐减小；所述泵体的后侧设置有一个方条，方条的中心与阳极筒组件焊接，方条的两侧焊接凸耳。
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