[发明专利]用于阶梯复合刀具金刚石涂层的双层热丝涂覆工艺

摘要

用于阶梯复合刀具金刚石涂层的双层热丝涂覆工艺，包括以下步骤（1）、把阶梯复合刀具放到盐酸与硝酸的混合溶液中进行超声清洗方式的预处理，确保钻削部分每个层面都能清洗到；（2）、在反应室内组装双层热丝调节机构；（3）、对双层热丝调节机构的热丝进行碳化；（4）、将阶梯复合刀具放置到双层热丝调节机构当中；（5）、在反应室内对刀头表面进行形核、生长处理。保证在金刚石涂层过程中，切削刃各个部分的温度保持平衡稳定，使得每一层都能均匀地生长一层金刚石薄膜，使得硬质合金阶梯孔刀具寿命大大提高，极大的节约了加工成本，提高了加工效率。

主权项

用于阶梯复合刀具金刚石涂层的双层热丝涂覆工艺，其特征在于：包括以下步骤：（1）、把阶梯复合刀具放到盐酸与硝酸的混合溶液中进行超声清洗方式的预处理，确保钻削部分每个层面都能清洗到；（2）、在反应室内组装双层热丝调节机构；（3）、对双层热丝调节机构的热丝进行碳化；（4）、将阶梯复合刀具放置到双层热丝调节机构当中；（5）、在反应室内对刀头表面进行形核、生长处理，其中形核时压力为‑99.6kPa，热丝功率维持在750～850W，偏压电流为0.8A，偏流功率维持在45～55W，热丝温度维持在1700～1900℃，衬底温度维持在700～800℃，保持30分钟；生长时压力为‑98kPa，保持钽丝功率维持在1750～1850W，偏压电流为0.3A，偏流功率维持在15～25W，热丝温度维持在1900～2100℃，衬底温度维持在800～900℃，保持3个小时；最后在阶梯复合刀具的钻削部分表面沉积一层金刚石薄膜；所述双层热丝调节机构包括设在工作台左侧和右侧分别垂直设置有两根螺柱电极和三根螺柱电极，右侧的三根螺柱电极上通过紧固螺栓水平设有两块上夹持板和两块下夹持板，左侧的两根螺柱电极上分别设有一个纵截面呈L型的第一弹簧片，第一弹簧片前侧通过水平设置的第一螺栓连接有纵截面呈倒L型的第二弹簧片，第一弹簧片后侧通过水平设置的第二螺栓连接有纵截面呈倒L型的第三弹簧片，第三弹簧片上表面高于第二弹簧片上表面，第三弹簧片上部向前延伸到第二弹簧片正上方，第二弹簧片上用于穿设第一螺栓的孔以及第三弹簧片上用于穿设第二螺栓的孔在垂直方向上均为长孔结构；两块下夹持板前侧和后侧分别夹持一根下热丝，下热丝的左侧使用下固定螺栓分别对应固定在第二弹簧片顶部，两块上夹持板前侧和后侧分别夹持一根上热丝，上热丝的左侧使用上固定螺栓分别对应固定在第三弹簧片顶部，前侧的上热丝和下热丝平行且上下对应，后侧上热丝和下热丝平行且上下对应。