[发明专利]一种太赫兹偏振片有效
申请号: | 201510025668.6 | 申请日: | 2015-01-19 |
公开(公告)号: | CN104536075B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 夏良平;毛洪艳;王思江;沈俊;饶先花;魏东山;崔洪亮;杜春雷 | 申请(专利权)人: | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
主分类号: | G02B5/30 | 分类号: | G02B5/30 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 李强 |
地址: | 400714 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明公开了一种太赫兹偏振片及其制作方法,所述太赫兹偏振片包括构成偏振片的基底为多层聚合物薄膜和构成偏振片偏振特性的为三维金属光栅结构;每一层聚合物薄膜上承载一层金属光栅结构。本发明提供的聚合物薄膜衬底的太赫兹偏振片具有偏振消光比高、偏振方向透过率高等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 赫兹 偏振 | ||
【主权项】:
一种太赫兹偏振片的制作方法,其特征在于,太赫兹偏振片包括如下结构:(1)构成偏振片的基底为多层聚合物薄膜;(2)构成偏振片偏振特性的为三维金属光栅结构;每一层聚合物薄膜上承载一层金属光栅结构;所述太赫兹偏振片的制作方法,包括如下步骤:(1)将硬质基底表面清洗干净并烘干;(2)在硬质基底上涂一层聚合物胶,使其固化形成聚合物薄膜衬底;(3)在聚合物薄膜衬底上镀一层100nm至500nm厚的金属膜;(4)利用光刻技术对金属膜进行结构化,形成金属光栅;(5)将金属光栅替换步骤(2)中的硬质基底,重复步骤(2)‑(4),形成以多层聚合物薄膜为基底的三维金属光栅结构;(6)将带金属光栅结构的聚合物薄膜与硬质基底分离。
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