[发明专利]一种激光诱导击穿‑脉冲拉曼光谱联用系统及使用方法

摘要

本发明公开一种激光诱导击穿‑脉冲拉曼光谱联用系统，包括脉冲激光器、显微成像光路、显微成像装置、Raman信号接收系统、全谱LIBS信号接收系统、光谱仪、样品平台；采用半透半反镜分光、倍频模块改变激光的波长，并使用机械光斩波器切换激光诱导击穿和脉冲拉曼光谱。本发明还公开了该联用系统的使用方法。本发明采用一个脉冲激光器，一套光学系统，一套光谱仪系统，实现两种不同波长激发的两种不同类型信号的获取，光学系统内无任何移动镜片组件，结构稳，性能强。

主权项

一种激光诱导击穿‑脉冲拉曼光谱联用系统，其特征在于：包括脉冲激光器(1)、机械光斩波器(5)、显微成像光路、显微成像装置、Raman信号接收系统、全谱LIBS信号接收系统、光谱仪(16)、样品平台(14)；所述脉冲激光器(1)出光口光路上设置半透半反镜(3)，所述半透半反镜(3)的透射光路上设置倍频模块(6)，所述半透半反镜(3)的反射光路上设置第一反射镜(4)，所述显微成像光路位于倍频模块(6)的出射光路上，显微成像光路位还位于第一反射镜(4)的光路上；所述机械光斩波器(5)水平方向敞开时，位于半透半反镜(3)和第一反射镜(4)之间的光路上，机械光斩波器(5)竖直方向开时，位于半透半反镜(3)和倍频模块(6)之间的光路上，所述Raman信号接收系统、全谱LIBS信号接收系统均连接光谱仪(16)；所述激光诱导击穿‑脉冲拉曼光谱联用系统还包括计算机控制系统(17)，所述脉冲激光器(1)、机械光斩波器(5)、显微成像装置、光谱仪(16)均与计算机控制系统(17)电连接；所述Raman信号接收系统包括成像双合聚焦镜(13)、第三二向色镜(10)、陷波滤波片(11)、Raman光纤探头(12)、光谱仪(16)以及光谱仪配套的制冷型CCD检测器；所述样品平台(14)上样品的反射光依次通过成像双合聚焦镜(13)、第三二向色镜(10)、陷波滤波片(11)到达Raman光纤探头(12)，所述Raman光纤探头(12)通过第二光纤(20)连接光谱仪(16)，所述光谱仪(16)受控于计算机控制系统(17)。