[发明专利]研磨部件外形的调整方法

摘要

本发明提供一种研磨部件外形的调整方法，在所述调整方法中，通过对所述研磨部件各个区域进行不同条件下的调整，可以使得所述研磨部件的表面一直保持平整，从而提高了所述研磨部件整体的研磨均匀性；减少了所述研磨部件沟槽内研磨副产物的残留，避免了对研磨晶片的划伤；使得所述研磨部件不同区域的研磨去除速率一致，提高了所述研磨部件不同区域的研磨均匀性；延长了所述研磨部件的使用寿命，节约了研磨成本。

主权项

1.一种研磨部件外形的调整方法，其特征在于：包括以下步骤：1)提供研磨部件和用于调整所述研磨部件外形的研磨调整装置，所述研磨调整装置包括一调整圆盘；2)将所述调整圆盘置于所述研磨部件上并做摆动，所述调整圆盘的摆动轨迹由第一摆动区域、第二摆动区域、第三摆动区域和第四摆动区域构成，其中，所述第四摆动区域为所述第一摆动区域、所述第二摆动区域和所述第三摆动区域之和；所述调整圆盘在一个所述摆动区域内的摆动时长、摆动速度和所受压力与所述调整圆盘在另一个所述摆动区域内的摆动时长、摆动速度和所受压力之间至少有一个互不相等；其中，在所述第一摆动区域内的第一压力为5.2～5.5磅/平方英寸，第一摆动速度为50～60次/分钟，第一时长为4～6秒；在所述第二摆动区域内的第二压力为5.0磅/平方英寸，第二摆动速度为45～55次/分钟，第二时长为4～6秒；在所述第三摆动区域内的第三压力为4.5～4.8磅/平方英寸，第三摆动速度为40～50次/分钟，第三时长为8～10秒；在所述第四摆动区域内的第四压力为5.0磅/平方英寸，第四摆动速度为25～30次/分钟，第四时长为7～8秒。