[发明专利]碳化硅冶炼工艺的废气回收系统

摘要

本发明涉及一种碳化硅冶炼工艺的废气回收系统包括分管废气回收系统，用于过滤并收集各个分支管路的废气，同时检测氧气浓度；总管废气回收系统，集中各个所述分管废气回收系统收集的废气，通过检测气体中氧气的浓度，控制废气高空排放或者进入输气管道；气体输送系统，收集所述输气管道传输的废气，然后过滤并检测气体浓度后通过送气管输送到用气单位。本发明实时监测并控制废气中氧气的浓度，防止了大量的一氧化碳与氧气混合而发生爆炸的情况，保障了工人的安全与财产损失，同时二次利用了碳化硅冶炼工艺中产生的大量的一氧化碳废气，并将该气体输送到各用气部门。

主权项

一种碳化硅冶炼工艺的废气回收系统，其特征在于，包括：分管废气回收系统，用于过滤并收集各个分支管路的废气，同时检测氧气浓度；总管废气回收系统，集中各个所述分管废气回收系统收集的废气，通过检测气体中氧气的浓度，控制废气高空排放或者进入输气管道；气体输送系统，收集所述输气管道传输的废气，然后过滤并检测气体浓度后通过送气管输送到用气单位；所述分管废气回收系统包括连接碳化硅电阻炉的分气管，所述分气管连接回收阀门，所述回收阀门通过气管连接精细过滤器，所述精细过滤器通过气管分别连接第一电动阀门与气水分离器，所述气水分离器通过气管分别连接自动排液器与抽气泵，所述抽气泵通过气管连接氧气分析仪，所述第一电动阀门固定连接总气管；总管废气回收系统包括若干总气管，每条所述总气管均连接第二电动阀门，所述第二电动阀门通过气管连接抽风机，所述抽风机通过气管分别连接第三电动阀门、第四电动阀门与电磁阀，所述第三电动阀门连接输气管道，所述第四电动阀门通过气管连接高空排放口，所述电磁阀通过气管分别连接气体检测装置与所述输气管道；所述气体输送系统包括连接所述输气管道的第五电动阀门，所述第五电动阀门通过气管连接喷淋塔，所述第五电动阀门与所述喷淋塔之间设有第一放散管，所述喷淋塔通过气管连接第二气体检测装置，所述第二气体检测装置通过气管连接加压风机，所述加压风机通过气管依次连接第二放散管、气体流量传感器、第二压力传感器与所述送气管。