[发明专利]一种自驱动阵列式振动传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201510030414.3 | 申请日： | 2015-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN104614065A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 张跃;梁齐杰;闫小琴;廖新勤;赵艳光;曹诗瑶 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自驱动阵列式振动传感器及其制备方法，其中自驱动阵列式振动传感器包括：基底层、电极层和功能薄膜层，电极层由若干电极阵列构成，本发明通过应用摩擦起电和静电诱导两种效应，相比于一些传统的振动传感器而言，其可以实现自驱动的工作方式，也就是不需要外界供能而且可以同时实现对大规模振动物件的探测。这种传感器具有制备方法简单、成本低廉、探测精度高且可以在非接触模式下工作的优势且易于与设备集成在一起实现对设备运行的实时监测。其不仅可以探测导体、规则物体的振动，也可以探测绝缘体、不规则物体的振动而且可以实现记录被探测物的振动历史，在设备运行监测、过程控制等领域具有很大的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 阵列 振动 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种自驱动阵列式振动传感器，包括：基底层（1）、电极层（2）和功能薄膜层（3），所述电极层（2）设置于基底层（1）上表面，所述功能薄膜层（3）设置于电极层（2）上表面，其特征在于，所述电极层（2）包括若干电极（4），所述电极（4）阵列排布构成电极层（2）。
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