[发明专利]有源分路源测量单元(SMU)电路有效

专利信息
申请号: 201510034507.3 申请日: 2015-01-23
公开(公告)号: CN104808031B 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: W.C.格克 申请(专利权)人: 基思利仪器公司
主分类号: G01R1/28 分类号: G01R1/28;G01R1/30
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 王洪斌;陈岚
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 有源分路源测量单元(SMU)电路可以包括SMU或具有与SMU电路的电流测量子电路集成的有源分路电路的电源。有源分路电路可以在SMU电路的电压输出期间有效,并且在SMU电路的电流输出期间无效。
搜索关键词: 有源 分路 测量 单元 smu 电路
【主权项】:
1.一种用于输出电压和电流到被测设备(DUT)的电路,所述电路包括:配置成与DUT电耦合的输出;以及与输出电耦合的电源供应电路,其中所述电源供应电路可操作通过改变通过输出提供的电流来调节施加到输出的电压,并且其中所述电源供应电路进一步可操作通过改变施加到输出的电压来调节通过输出提供的电流,所述电源供应包括至少一个检测电阻器,其与输出串联并且可操作来测量通过输出提供的电流,其中,当所述电源供应电路在调节施加到输出的电压时,可控的反馈增益被施加到所述至少一个检测电阻器,以减少对电压调节的表观电阻。
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