[发明专利]半导体晶片的高速荧光光谱检测装置在审
| 申请号： | 201510034852.7 | 申请日： | 2015-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN104568893A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 徐杰;郭金源 | 申请（专利权）人： | 北京中拓机械集团有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周丰 |
| 地址： | 102208 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明为一种半导体晶片的高速荧光光谱检测装置，涉及半导体晶片检测装置，主要包括机架（1）、半导体晶片运动机构（2）、激光发生装置（3）、光路收集系统（4）、光谱仪（5）、面阵CCD相机（6）、控制计算机（7），其中，半导体晶片运动机构（2）、激光发生装置（3）、光路收集系统（4）和光谱仪（5）均固定在机架（1）上端，半导体晶片运动机构（2）固定在机架（1）下端，所述的半导体晶片运动机构（2）、激光发生装置（3）、光路收集系统（4）、光谱仪（5）、面阵CCD相机（6），在使用时在暗室（8）内。本发明的检测装置的优点是既能实现高速扫描半导体晶片，又可获得半导体晶片的荧光光谱形状、强度、峰值波长、半高宽等丰富信息。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 晶片 高速 荧光 光谱 检测 装置 | ||
【主权项】：
半导体晶片的高速荧光光谱检测装置，其特征在于，主要包括机架（1）、半导体晶片运动机构（2）、激光发生装置（3）、光路收集系统（4）、光谱仪（5）、面阵CCD相机（6）、控制计算机（7），其中，半导体晶片运动机构（2）、激光发生装置（3）、光路收集系统（4）和光谱仪（5）均固定在机架（1）上端，半导体晶片运动机构（2）固定在机架（1）下端，光谱仪（5）包括：入光狭缝（11）、第一柱状弧面反射镜（12）、光栅（13）、第二柱状弧面反射镜（14）、出光口（15），其中光路收集系统（4）安装在光谱仪（5）的入射狭缝前端，面阵CCD相机（6）安装在光谱仪（5）的出光口处，使得激光发生装置（3）发出的激光线投射在半导体晶片运动机构（2）上的半导体晶片上形成线形光斑，线形光斑经光路收集系统（4）和光谱仪（5）入光狭缝，投射在光谱仪（5）第一柱状弧面反射镜（12）上，经第一柱状弧面反射镜（12）反射到光谱仪（5）的光栅（13）上，经光栅（13）衍射后，将线形光斑按柱状梯形形状沿光的传播方向展开，其中每一个梯形截面代表一段光斑点在空间上按不同连续波长的分布，被展开后的柱状梯形光投射到光谱仪（5）内的第二柱状弧面反射镜（14）上，经第二柱状弧面反射镜（14）反射后，投射到安装在光谱仪（5）出光口（15）处的面阵CCD相机（6）上。
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