[发明专利]一种印刷半导体集成制造设备在审
申请号: | 201510035707.0 | 申请日: | 2015-01-23 |
公开(公告)号: | CN104608507A | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 武倩;边惠;郭小军 | 申请(专利权)人: | 南京华印半导体有限公司 |
主分类号: | B41J3/44 | 分类号: | B41J3/44;B41J3/54 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 陈建和 |
地址: | 210046 江苏省南京市经济技术开发*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 印刷半导体集成制造设备,包括设备底座(11),设备底座(11)上设有横向位移平台(13)、移动基座及加热平台(14)和柔性基底卷设备(18)用于印刷半导体柔性基底材料的放卷按尺寸切割并固定且能移动、加热,以及柔性基底材料基上印刷半导体集成制造的平台,设备底座上另设有打印系统及UV灯(12),设有电脑控制系统,用于控制移动基座及加热平台(14)在横向位移平台(13)的移动、定位、工作,打印系统及UV灯(12)的工作。通过巧妙设计移动基座,将上述系统集成在一起工作,而无需移动器件基底,实现生产过程的快速对准。同时将上述系统控制集成在一个设备中,降低了成本,实现了操作的简化。 | ||
搜索关键词: | 一种 印刷 半导体 集成 制造 设备 | ||
【主权项】:
印刷半导体集成制造设备,其特征是包括设备底座(11),设备底座(11)上设有横向位移平台(13)、 移动基座及加热平台(14)和柔性基底卷设备(18)用于印刷半导体柔性基底材料的放卷按尺寸切割并固定且能移动、加热,以及柔性基底材料基上印刷半导体集成制造的平台,设备底座上另设有打印系统及UV灯(12),设有电脑控制系统,用于控制移动基座及加热平台(14)在横向位移平台(13)的移动、定位、工作,打印系统及UV灯(12)的工作。
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