[发明专利]一种N型单晶片的P型掺杂方法有效
申请号: | 201510035930.5 | 申请日: | 2015-01-23 |
公开(公告)号: | CN104538504B | 公开(公告)日: | 2017-08-25 |
发明(设计)人: | 蔡永梅;蒋方丹;金浩 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/225;H01L21/268 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请公开了一种N型单晶片的P型掺杂方法,包括在N型单晶片的表面设置含有P型元素的掺杂浆料;烘干所述掺杂浆料;激光扫描所述掺杂浆料,将所述P型元素掺入所述N型单晶片中。该方法避免了能够降低少数载流子寿命的高温扩散过程,因此能够提高单晶片的少子寿命,从而能够提高太阳能电池的光电转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶片 掺杂 方法 | ||
【主权项】:
一种N型单晶片的P型掺杂方法,其特征在于,包括:采用丝网印刷的方法在N型单晶片的表面设置含有P型元素的掺杂浆料,形成太阳能电池电极的图案,所述掺杂浆料的厚度为7微米至10微米,包括端点值;烘干所述掺杂浆料,所述烘干的温度为300℃至350℃,包括端点值,所述烘干的时间为6分钟至10分钟,包括端点值;激光扫描所述掺杂浆料,将所述P型元素掺入所述N型单晶片中;所述P型元素为硼,所述N型单晶片的材质为硅。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的