[发明专利]薄膜压电元件、薄膜压电致动器、和薄膜压电传感器以及硬盘驱动器、和喷墨打印机装置有效
| 申请号： | 201510035975.2 | 申请日： | 2015-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN104810469B | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 佐久间仁志;前岛和彦 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/09;H01L41/18 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，通过使薄膜压电元件的平面形状、层构造为一定的状态下，在构成薄膜压电元件的压电薄膜的接地面具有凹凸的形状，进一步增大移位量。薄膜压电元件具备一对电极层和由上述一对电极层夹着的压电薄膜，压电薄膜和一对电极层的至少一者的界面的表面粗糙度P‑V为220nm以上500nm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 元件 致动器 传感器 以及 硬盘驱动器 喷墨打印机 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜压电元件，其特征在于，包括：一对电极层；和由所述一对电极层夹着的压电薄膜，所述压电薄膜和所述一对电极层的至少一者的界面的表面粗糙度P‑V为220nm以上且500nm以下，所述界面的表面粗糙度Ra为90nm以上且220nm以下，该表面粗糙度Ra比构成所述压电薄膜的结晶颗粒的平均结晶粒径大。
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