[发明专利]从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离方法

摘要

本发明公开了一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离方法，包括对第一级容器、第二级容器抽真空、对真空罩抽真空、对第一级容器制冷、对第二级容器制冷、分离WF₆气体中的N₂或O₂、关闭六个步骤。本发明中的分离方法避免了WF₆的腐蚀性对仪器以及操作人员造成伤害，使纯化WF₆过程的成本更低、难度更小、精度更高。

主权项

一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的装置的分离方法，其特征在于：包括以下步骤：（ⅰ）对第一级容器（2）、第二级容器（3）抽真空开启阀门Ⅱ号阀门（13）、Ⅲ号阀门（14）并通过真空泵机组（4）对第一级容器（2）、第二级容器（3）进行抽空，当第一级容器（2）、第二级容器（3）及连接管（1）内压力低于1Pa时，关闭Ⅱ号阀门（13）、Ⅲ号阀门（14），停止抽空；（ⅱ）对真空罩（5）抽真空开启Ⅳ号阀门（15）并通过分子泵机组（6）对真空罩（5）进行持续抽空使得真空罩（5）内压力低于10^‑3Pa；（ⅲ）对第一级容器（2）制冷操作第一级控温仪（9），使第一级制冷机（7）向第一级容器（2）提供冷量，开启Ⅴ号阀门（16）、Ⅵ号阀门（17）并使用冷水机组（11）向第一级制冷机（7）提供冷却水，使第一级容器（2）内温度恒定控制在‑60℃至‑100℃；（ⅳ）对第二级容器（3）制冷操作第二级控温仪（10），使第二级制冷机（8）向第二级容器（3）提供冷量，开启Ⅶ号阀门（18）、Ⅷ号阀门（19）并使用冷水机组（11）向第二级制冷机（8）提供冷却水，使第二级容器（3）温度恒定控制在‑250℃～‑270℃；（ⅴ）分离WF₆气体中的N₂或O₂关闭Ⅲ号阀门（14）与真空泵机组（4），保持第一级容器（2）、第二级容器（3）内温度恒定，然后开启Ⅰ号阀门（12）使带有N₂或O₂杂质的WF₆气体进入第一级容器（2）与第二级容器（3）中，使得WF₆被冷凝收集至第一级容器（2）中，N₂或O₂被冷凝至第二级容器（2）中；（ⅵ）达到预定分离时间后，关闭Ⅰ号阀门（12）。