[发明专利]一种双U形的真空系统中待测物体移动装置有效
| 申请号： | 201510037971.8 | 申请日： | 2015-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN104614559B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 吴振华;张雅鑫;胡旻;丁德成;杨梓强 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心51203 | 代理人： | 张杨 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 该发明公开了一种双U形的真空系统中待测物体移动装置,涉及真空电子技术领域。该装置包括真空腔室、样品台、样品台连动杆、波纹管、密封法兰、连动盘、大U形支架，小U形支架、多维度移动系统；其中真空腔室设置有开口，该开口外部通过密封法兰依次连接波纹管b、连动盘、波纹管a、大U形支架，波纹管a通过法兰连接大U形支架的U口底部；大U形支架的开口端固定于真空腔室上；多维度移动系统固定在大U形支架的外侧，多维度移动系统的移动轴与小U形支架的U口底部连接，小U形支架的开口端与连动盘边缘固定；样品台连动杆一端与连动盘连接，另一端与样品台连接。从而本发明具有结构简单、可靠性高、成本低的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 系统 中待测 物体 移动 装置 | ||
【主权项】：
一种双U形的真空系统中待测物体移动装置，该装置包括：真空腔室、样品台、样品台连动杆、波纹管、密封法兰、连动盘、大U形支架，小U形支架、多维度移动系统；其中真空腔室设置有开口，该开口外部通过密封法兰依次连接波纹管b、连动盘、波纹管a、大U形支架，其中波纹管b、连动盘、波纹管a设置于大U形支架的U口内，波纹管a通过法兰连接大U形支架的U口底部；大U形支架的的开口端固定设置于真空腔室上；多维度移动系统固定设置在大U形支架的外侧，多维度移动系统的移动轴与小U形支架的U口底部连接，小U形支架的开口端与连动盘边缘固定设置；样品台连动杆位于波纹管b内，一端与连动盘连接，另一端与样品台连接。
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