[发明专利]一种IC封装用超软键合丝及其制造方法有效
申请号: | 201510039412.0 | 申请日: | 2015-01-26 |
公开(公告)号: | CN104752385B | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | 周振基;周博轩;任智 | 申请(专利权)人: | 汕头市骏码凯撒有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C22C9/00;C22F1/08 |
代理公司: | 北京市路盛律师事务所11326 | 代理人: | 王桂玲 |
地址: | 515065 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种IC封装用超软键合铜合金丝及其制造方法,线材中的氧含量为0~5ppm,钨含量为0.1~2ppm,硫含量为1~10ppm,磷含量为4~200ppm,余量为高纯铜。本发明提供的IC封装用超软键合丝及其制造方法,通过直接调整线材中的氧含量和通过引入磷,借助其去氧能力;通过引入钨、硫并进一步利用forming gas中氢的还原性,降低FAB中的氧含量,降低了FAB的硬度。此外,在上述添加物的基础上,添加了8~200ppm的银,提升了线材的超声软化效能和与IC铝材料的结合能力,拓宽了打线工作窗口,由于操作窗口的拓宽,使得该IC封装用超软键合丝也能应用于多芯片叠片封装中的悬空打线。 | ||
搜索关键词: | 一种 ic 封装 软键 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种IC封装用超软键合丝,其特征在于,线材中的氧含量为0~5ppm,钨含量为0.1~2ppm,硫含量为1~10ppm,磷含量为4~200ppm,余量为纯度为4N以上的高纯铜。
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