[发明专利]托盘、承载装置及半导体加工设备

摘要

本发明提供了一种托盘、承载装置及半导体加工设备。该托盘上设置有至少一个用于容纳衬底且限定衬底放置方向的凹槽，凹槽的径向截面轮廓形状和衬底的径向截面轮廓形状互为相似图形，凹槽侧壁上具有第一棱角，衬底侧壁上具有与第一棱角对应的第二棱角，其中：在凹槽侧壁上每个第一棱角位置处设置第一凹部，每个第一凹部用于在衬底存在放置方向偏差时容纳衬底的第二棱角，且不与衬底接触。本发明提供的托盘，可以有效地降低衬底受到凹槽的径向尺寸限制被挤碎的风险，从而可以避免衬底的浪费和提高经济效益。

主权项

一种托盘，其特征在于，所述托盘上设置有至少一个用于容纳衬底且限定所述衬底放置方向的凹槽，所述凹槽的径向截面轮廓形状和衬底的径向截面轮廓形状互为相似图形，所述凹槽侧壁上具有第一棱角，所述衬底侧壁上具有与所述第一棱角对应的第二棱角，其中：在所述凹槽侧壁上每个第一棱角位置处设置第一凹部，每个所述第一凹部用于在所述衬底存在放置方向偏差时容纳所述衬底的第二棱角，且不与所述衬底接触。