[发明专利]一种能实现全开模式的双镜片激光衰减装置在审
申请号: | 201510041583.7 | 申请日: | 2015-01-28 |
公开(公告)号: | CN105988211A | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 张辉;苏海业;李静 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B26/02 | 分类号: | G02B26/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种激光衰减装置,包括设置于具有两个通光孔的箱体中的互成镜像的两个偏心安装的镜片,入射光线穿过第一通光孔入射到第一镜片上,穿过第一镜片的光在再次穿过第二镜片后通过通光孔出射,其中,所述两个镜片可以同步运动,并可完全避开光路实现全开模式。 | ||
搜索关键词: | 一种 实现 全开 模式 镜片 激光 衰减 装置 | ||
【主权项】:
一种能实现全开模式的双镜片激光衰减装置,其特征在于:包括第一镜片(21)、第二镜片(22)和同步驱动装置,所述同步驱动装置驱动所述第一镜片(21)和第二镜片(22)进行同步转动;所述同步驱动装置包括第一壳体(31)、与所述第一壳体(31)相连的第二壳体(32)、主动轮(33)、从动轮(34)和驱动电机(35),所述主动轮(33)和从动轮(34)啮合;所述第一镜片(1)的一端连接在第一轴(41)的一端,通过所述第一轴(41)与所述主动轮(33)连接,所述第一轴(41)的另一端连接所述驱动电机(35);所述第二镜片(22)的一端连接在第二轴(42)的一端,通过所述第二轴(42)与所述从动轮(32)连接;所述第一轴(41)和第二轴(42)均可转动的设置在所述第一壳体(31)和第二壳体(32)上;所述驱动电机(35)驱动所述第一轴(41)转动,所述第一轴(41)带动所述主动轮(33)和第一镜片(21)进行转动,所述主动轮(33)带动所述从动轮(34)转动,进而所述从动轮(34)带动第二轴(42)和第二镜片(22)转动。
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