[发明专利]一种扇出型晶圆级封装方法有效
| 申请号： | 201510042106.2 | 申请日： | 2015-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN104681456B | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王宏杰;刘一波;陈峰;上官东恺;孙鹏 | 申请（专利权）人： | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/56 | 分类号： | H01L21/56;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司11505 | 代理人： | 杨晞 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种扇出型晶圆级封装方法，可适用于小薄芯片并简化了工艺流程。该扇出型晶圆级封装方法包括在至少一个芯片的正面上分别制备导电凸柱，将所述至少一个芯片的正面朝上贴装于一个载板上，并对所述至少一个芯片进行塑封，使得塑封后所述导电凸柱的顶端外露在塑封体之外；在外露导电凸柱的所述塑封体上通过重布线工艺完成扇出型晶圆级封装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扇出型晶圆级 封装 方法 | ||
【主权项】：
一种扇出型晶圆级封装方法，其特征在于，包括：在至少一个芯片的正面上分别制备导电凸柱，将所述至少一个芯片的正面朝上贴装于一个载板上，并对所述至少一个芯片进行塑封，使得塑封后所述导电凸柱的顶端外露在塑封体之外；在外露导电凸柱的所述塑封体上通过重布线工艺完成扇出型晶圆级封装。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
