[发明专利]外置滚对平面微纳米光刻压印光源装置

摘要

本发明公开了一种外置滚对平面微纳米光刻压印光源装置，包括设置于滚筒模具外部的紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路，紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管、凸透镜柱、紫外灯管位置调整单元、凸透镜柱位置调整单元和紫外灯光源角度调整单元；光强控制部分包括增量式光电编码器、鉴相与放大电路和紫外灯管，实现光照强度随滚压印速度变化而变化；紫外灯光源角度调整单元、紫外灯管位置调整单元、凸透镜柱位置调整单元，通过调整实现滚筒模具表面和衬底的切线与凸透镜柱焦线平行，且距离越近越好，但紫外灯光源的光线不能落在滚印模具表面上。本发明使滚筒制作的小而精确，提高模具的加工精度和工件图案的加工质量。

主权项

一种外置滚对平面微纳米光刻压印光源装置，其特征是，包括设置于滚筒模具外部的紫外灯光源和能够控制所述光源光照强度变化的控制电路，所述紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管、凸透镜柱、紫外灯管位置调整单元、凸透镜柱位置调整单元和紫外灯光源角度调整单元；所述紫外灯光源角度调整单元包括供抛物面型灯罩顶部活动连接的旋转轴，该旋转轴两端固定于机身两侧板上，机身侧板固定有两个以机身中心线为对称的光源角度调整圆弧板，抛物面型灯罩对称地固定于两光源角度调整圆弧板之间，每一个光源角度调整圆弧板中部均开有一个沿所述圆弧板中心线对称的圆弧槽，圆弧槽中设置有连接于抛物面型灯罩侧板的第一连接件；所述凸透镜柱位置调整单元包括用于固定凸透镜柱两端的两对上、下夹紧块，每对上、下夹紧块两侧各有一螺钉固定，将凸透镜柱夹紧，同时在凸透镜柱夹紧块的两侧以凸透镜中心线为对称地布置四对推压螺栓，用于调整凸透镜柱中心线到滚压印工作区的距离；所述控制电路包括增量式光电编码器、鉴相和放大电路，所述增量式光电编码器固定在滚筒模具的驱动电动机后面，当控制器驱动电机运转时，固定在电机后面的增量式光电编码器的编码盘同步旋转，装在编码盘一侧的光电元件有光敏电压产生，电路形成闭合回路就有电流出现，该电流信号经鉴相和功率放大电路放大后，作为紫外灯光源灯管的电源，用来控制光的强度，这样就能使得紫外灯光源的光照强度随滚筒模具的转速改变而改变，滚筒模具的转速越大光照强度就越强。