[发明专利]一种气腔压力法薄膜材料压电常数测量装置及测量方法

摘要

本发明涉及薄膜材料压电常数测量装置，属于测量领域。一种气腔压力法薄膜材料压电常数测量装置，其特征在于：将待测薄膜材料放置在全封闭气腔内，所述全封闭气腔通过压力控制器连接气源，由压力控制器控制全封闭气腔内的压力，所述待测薄膜材料上下两面的电极与设置在全封闭气腔的腔体壁上的连通全封闭气腔内外的导电柱电连接，所述导电柱的外接电线连接电荷放大器，最后连接到数字示波器，所述压力控制器连接有数字压力计，所述全封闭气腔内还设置有热电偶传感器，热电偶传感器连接监控用数字温度计。本发明的测量装置和测量方法测试简单直接，待测薄膜材料在测试中非常稳定，大大提高了测试精度。

主权项

一种气腔压力法薄膜材料压电常数测量装置，其特征在于：将待测薄膜材料放置在全封闭气腔内，所述全封闭气腔通过压力控制器连接气源，由压力控制器控制全封闭气腔内的压力，所述全封闭气腔包括上盖板、中间腔体和下盖板，所述上盖板和中间腔体之间以及中间腔体和下盖板之间设置有密封圈，在所述下盖板上的中间腔体内设置有支撑柱，支撑柱上设置有待测薄膜材料放置平台，平台上有待测薄膜材料放置凹孔，用来放置待测薄膜材料，平台边设置有内导电柱，所述内导电柱分别与所述待测薄膜材料上下两面的电极电连接，内导电柱通过同轴线与设置在腔体壁上的连通全封闭气腔内外的外导电柱电连接，外导电柱的外接线连接电荷放大器，通过电荷放大器连接到数字示波器；所述压力控制器连接有数字压力计，所述全封闭气腔内还设置有热电偶传感器，热电偶传感器连接监控用数字温度计。