[发明专利]类单晶的制备方法在审

专利信息
申请号: 201510045470.4 申请日: 2015-01-29
公开(公告)号: CN105986309A 公开(公告)日: 2016-10-05
发明(设计)人: 杨镇豪 申请(专利权)人: 茂迪股份有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B29/06
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾新北市*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种类单晶的制备方法,其包含下列步骤。设置多个坩埚于炉体内。于每一坩埚中设置一单晶晶种。于每一坩埚中设置硅料于单晶晶种上。进行长晶步骤,以利用每一坩埚中的硅料与单晶晶种形成一类单晶晶碇。借此,可在长晶时达到无晶界面的目的,并可减少晶碇的缺陷。
搜索关键词: 类单晶 制备 方法
【主权项】:
一种类单晶的制备方法,其特征在于,包含:设置多个坩埚于一炉体内;于每一所述坩埚中设置一单晶晶种;于每一所述坩埚中设置一硅料于该单晶晶种上;以及进行一长晶步骤,以利用每一所述坩埚中的该硅料与该单晶晶种形成一类单晶晶碇。
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