[发明专利]类单晶的制备方法在审
申请号: | 201510045470.4 | 申请日: | 2015-01-29 |
公开(公告)号: | CN105986309A | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 杨镇豪 | 申请(专利权)人: | 茂迪股份有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新北市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种类单晶的制备方法,其包含下列步骤。设置多个坩埚于炉体内。于每一坩埚中设置一单晶晶种。于每一坩埚中设置硅料于单晶晶种上。进行长晶步骤,以利用每一坩埚中的硅料与单晶晶种形成一类单晶晶碇。借此,可在长晶时达到无晶界面的目的,并可减少晶碇的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 类单晶 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种类单晶的制备方法,其特征在于,包含:设置多个坩埚于一炉体内;于每一所述坩埚中设置一单晶晶种;于每一所述坩埚中设置一硅料于该单晶晶种上;以及进行一长晶步骤,以利用每一所述坩埚中的该硅料与该单晶晶种形成一类单晶晶碇。
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