[发明专利]一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品

摘要

本发明涉及一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品，所述工件表面镀金刚石膜装置包括：镀膜模块、气控模块、温控模块。本发明还公开了一种用所述的工件表面镀金刚石膜装置调控反应腔温度的方法和一种使用所述工件表面镀金刚石膜装置沉积金刚石膜的方法以及使用所述方法制得的表面镀金刚石膜的工件。使用所述装置制得的表面镀金刚石膜的工件表面的金刚石膜厚度均匀，且金刚石膜与工件表面的结合性能优异。

主权项

一种工件表面镀金刚石膜装置，其特征在于，所述工件表面镀金刚石膜装置包括：镀膜模块，所述镀膜模块包括反应腔、位于所述反应腔内部的加热电阻部A'、位于所述反应腔外部的加热电阻层B'、和位于所述加热电阻层B'外部的绝热陶瓷；且所述的加热电阻部A'是用加热电阻丝A通过第一铺放方式形成的；且所述的加热电阻层B'是用加热电阻丝B通过第二铺放方式形成的；气控模块，所述气控模块用于控制反应腔内气氛；温控模块，所述温控模块用于控制加热电阻部A'和/或加热电阻层B'的温度。