[发明专利]一种清除III族混晶氮化物沉积物的回收装置及方法

摘要

本发明公开了一种清除HVPE设备中III族混晶氮化物沉积物的回收装置及方法。本发明设计包括了主槽、防壁流挡圈、导流槽及收集器的III族混晶氮化物沉积物的回收装置，并利用腐蚀性气体在高温下对其具有腐蚀分解作用，有效地回收高温分解后的液态氮化物，解决反应腔体中直管与弯管之间严重堵塞及其高温分解产物的无定向流动等问题。本发明装置及方法，其结构合理紧凑、操作简便，能更好地保证被分解的混晶III族氮化物液体流聚到指定区域，便于收集清理，防止腔室的堵塞与污染，增加HVPE设备的使用寿命，极具实用价值。

主权项

1.一种清除III族混晶氮化物沉积物的回收装置，其特征在于，所述装置包括：主槽、固定设置在主槽中的导流槽和设置在主槽上方的防壁流挡圈、及与导流槽连接的收集器；在900℃‑1500℃温度条件下，利用对包括III族混晶氮化物的固态副产物具有腐蚀分解作用的气体，该气体为H₂、HCl以及NH₃，或其中两种或多种气体的混合物，把沉积在HVPE反应腔体内的包括III族混晶氮化物的固态副产物进行高温分解，最终形成液态产物，并通过该装置进行回收再利用；所述主槽的槽体横截面光滑，具有向导流槽方向倾斜的凹槽，且凹槽开口呈倒锥型；所述导流槽为光滑管道，并与凹槽的倒锥型开口面形成弯曲弧度为3°～45°。