[发明专利]等离子体处理装置

摘要

本发明公开了一种等离子体处理装置，包括反应箱、电极组件和高频电源，反应箱上设置有抽真空口和进气口，电极组件包括至少一组电极管，每组电极管沿反应箱的长度方向和反应箱的高度方向设置于反应箱内部，每组电极管分别与高频电源的正极、负极电连接，电极管内设置有绝缘层且电极管与冷却水源连通。本发明电极管与冷却水源连通，直接对电极管降温，相较于现有技术，降温效果更佳，避免电极管升温对设备造成损坏，也避免反应箱内升温损坏产品。

主权项

1.等离子体处理装置，其特征在于，包括反应箱、电极组件、高频电源和物料板，所述反应箱上设置有抽真空口和进气口，所述电极组件包括至少一组电极管，所述电极管包括一个弧形折弯管或多个相连的弧形折弯管；每组电极管沿所述反应箱的长度方向和所述反应箱的高度方向设置于所述反应箱内部，每组电极管分别与所述高频电源的正极、负极电连接，所述电极管内设置有绝缘层且所述电极管与冷却水源连通，所述物料板水平设置于每组电极管之间；沿所述反应箱长度方向、沿所述反应箱高度方向设置的电极管交错与所述高频电源的正极、负极电连接；还设置有安装板，所述安装板沿反应箱的高度方向水平设置于所述反应箱内，所述电极组件设置于所述安装板上，所述物料板水平设置于每二个安装板之间；所述电极组件穿设于所述反应箱的箱体壁上并与冷却水源和高频电源电连接，所述电极组件与所述冷却水源的连接处设置有绝缘密封件。