[发明专利]温度测量方法以及温度测量装置在审
申请号: | 201510051681.9 | 申请日: | 2015-01-30 |
公开(公告)号: | CN105987766A | 公开(公告)日: | 2016-10-05 |
发明(设计)人: | 甘正浩 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01K7/16 | 分类号: | G01K7/16 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 高静;骆苏华 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种温度测量方法以及温度测量装置,其中装置包括:测量回路,测量回路包括相互并联的第一支路以及第二支路,第一、第二电阻,第二电阻的阻值变化;第一支路以及第二支路的电阻相等;与接地并联点相连的第一电阻包括与接地并联点直接相连的第一电阻接地端和与接地并联点不直接相连第一电阻非接地端;与接地并联点相连的第二电阻包括与接地并联点直接相连的第二电阻接地端和与接地并联点不直接相连第二电阻非接地端;处理单元通过第二电阻的电阻变化值以及第二电阻的阻值与温度之间的固定关系,获得测量回路所处环境的温度。本发明的有益效果在于,耐高温的能力相较于现有技术更好,在高温下的稳定工作稳定性也更高。 | ||
搜索关键词: | 温度 测量方法 以及 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种温度测量装置,其特征在于,包括:测量回路,所述测量回路包括:第一支路以及第二支路,所述第一支路以及第二支路之间相互并联,并具有第一并联点以及第二并联点;所述第一并联点与第二并联点的其中之一作为接地并联点接地;所述第一支路以及第二支路均包括若干阻值固定的第一电阻以及至少一个阻值变化的第二电阻,所述第二电阻的阻值与温度之间呈一固定关系变化,所述第二电阻在第一温度时与所述第一电阻的阻值相同;所述第一支路以及第二支路的电阻相等;第一支路中包括一直接与所述接地并联点相连的第一电阻,所述第二支路中包括一与所述接地并联点相连的第二电阻;或者,所述第一支路中包括一直接与所述接地并联点相连的第二电阻,所述第二支路中包括一与所述接地并联点相连的第一电阻;与所述接地并联点相连的第一电阻包括与接地并联点直接相连的第一电阻接地端和与接地并联点不直接相连的第一电阻非接地端;与所述接地并联点相连的第二电阻包括与接地并联点直接相连的第二电阻接地端和与接地并联点不直接相连的第二电阻非接地端;处理单元,用于根据所述第一电阻非接地端和第二电阻非接地端之间的电压差,以及第一并联点或者第二并联点的电流值以得到所述第二电阻的电阻变化值,并通过所述第二电阻的电阻变化值以及第二电阻的阻值与温度之间的固定关系,获得测量回路所处环境的温度。
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