[发明专利]封装设备和封装方法有效
申请号: | 201510053620.6 | 申请日: | 2015-02-02 |
公开(公告)号: | CN104637843B | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 王伟;孙中元 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 彭瑞欣,陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种封装设备和封装方法,所述封装设备包括相对设置的第一平台和第二平台,所述第一平台能够朝向或远离所述第二平台作往复移动,所述第一平台上设置有第一电磁装置,所述封装设备还包括至少一个能够被所述第一电磁装置吸附的磁性贴片,所述磁性贴片的一侧用于与所述第一平台相贴附,所述磁性贴片的另一侧用于与待封装的基板相贴附,且所述基板能够可分离地固定在所述第一平台上。本发明能够实现基板在高真空环境下进行封装,并且可确保基板在释放时不发生偏移,提高了对位封装的精度。 | ||
搜索关键词: | 封装 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种封装设备,其特征在于,包括相对设置的第一平台和第二平台,所述第一平台能够朝向或远离所述第二平台作往复移动,所述第一平台上设置有第一电磁装置,所述封装设备还包括至少一个能够被所述第一电磁装置吸附的磁性贴片,所述磁性贴片的一侧用于与所述第一平台相贴附,所述磁性贴片的另一侧用于与待封装的基板相贴附,且所述基板能够可分离地固定在所述第一平台上,所述第一平台上形成有至少一个真空吸附孔,所述真空吸附孔用于将所述待封装的基板吸附固定在所述第一平台上,所述第一平台上与所述磁性贴片相贴附的部位设置有凹槽,以使得所述磁性贴片能够置于所述凹槽中,并且,所述凹槽的深度不大于所述磁性贴片的厚度,所述凹槽内设置有可压缩的调节垫,所述可压缩的调节垫用于与所述磁性贴片相接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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