[发明专利]一种紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种紫外探测器及其制备方法，以及一种用作紫外探测器光激活层的非晶氧化物薄膜。该紫外探测器包含衬底、光激活层及一对电极，且光激活层为非晶氧化物薄膜，该非晶氧化物薄膜的化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18，其中0≦x≦1.0。制备本发明的紫外探测器的步骤包括衬底准备步骤、光激活层形成步骤以及形成金属电极步骤，其中光激活层形成步骤为通过低温化学反应法形成化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18的非晶氧化物薄膜。本发明制得的紫外探测器，暗电流为10‑9~10‑6 A、光电流为10‑8~10‑5 A，响应灵敏度为10~50。本发明使用的制备方法操作简单、成本低，制得的紫外探测器具有探测灵敏度高等优点，在军事、民用等领域具有重要的应用价值。

主权项

一种紫外探测器，所述紫外探测器包含衬底(1)、光激活层(2)以及电极(3)和另一电极(4)，其中光激活层(2)覆盖于衬底(1)上表面，两个电极呈叉指状相对设置于光激活层(2)之上；其特征在于：所述光激活层(2)为非晶氧化物薄膜，所述非晶氧化物薄膜的化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18，其中0.5≦x≦1.0。