[发明专利]一种VB/VGF单晶生长用支撑结构及其加工方法有效
| 申请号： | 201510055342.8 | 申请日： | 2015-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN104593860B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 兰天平;周春锋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种VB/VGF单晶生长用支撑结构及其加工方法，加工步骤将莫来石外套一端内壁加工出弧度；根据支撑管的内径尺寸卷绕陶瓷纤维纸内芯，然后塞入支撑管内；将支撑管装入烤炉内烘烤；将烘烤后的陶瓷纤维纸内芯从石英支撑管中取出进行加工并装入监控热偶；将陶瓷纤维纸内芯再装入支撑管，然后装入莫来石外套内；用陶瓷纤维纸小块塞入莫来石外套与支撑管之间，形成VB/VGF单晶生长用支撑结构。采用本发明有效地解决了因陶瓷纤维纸外套易碎、开裂等影响晶体生长工艺稳定性问题，本结构的莫来石外套及内芯可以重复使用，保证了晶体生长过程的可重复性，有效地提高了生产效率及晶体成晶率，为规模、批量生产提供了可靠保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 vb vgf 生长 支撑 结构 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种VB/VGF单晶生长用支撑结构，其特征在于，该支撑结构包括监控热偶（4）、陶瓷纤维纸内芯（6）、石英支撑管（7）、莫来石外套（8）、石英导热棒（9）和陶瓷纤维纸小块（10）；所述的监控热偶（4）装入陶瓷纤维纸内芯（6）中，陶瓷纤维纸内芯（6）装入石英支撑管（7）内，石英支撑管（7）装入莫来石外套（8）内，石英导热棒（9）装入陶瓷纤维纸内芯（6），其上端至陶瓷纤维纸内芯（6）中部，陶瓷纤维纸小块（10）间隔塞入莫来石外套（8）与石英支撑管（7）之间，即组成所述的支撑结构。
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