[发明专利]膜片上FBAR结构的微麦克风

摘要

本发明公开了膜片上FBAR结构的微麦克风，包括基底、检测元件和复合弹性支撑层，基底位于复合弹性支撑层下方，检测元件位于复合弹性支撑层的上方，复合弹性支撑层用于支撑检测元件；基底包括Si基座与空腔，Si基座外形为一长方体，Si基座的中间设置有喇叭状的通孔，通孔孔径较小端位于Si基座的上表面，Si基座上表面紧贴于复合弹性支撑层下表面，通孔与复合弹性支撑层之间形成为空腔；空腔顶面对应的复合弹性支撑层的部分为弹性膜片，弹性膜片用于形成振膜，空腔顶面和侧面形成声波反射界面；检测元件包括FBAR、引线、焊盘，FBAR通过引线与焊盘连接；本发明具有可制造性好、温度稳定性高、模态交叉耦合小和机械强度高的优点。

主权项

膜片上FBAR结构的微麦克风，其特征在于：包括基底、检测元件和复合弹性支撑层，基底位于复合弹性支撑层下方，检测元件位于复合弹性支撑层的上方，复合弹性支撑层用于支撑检测元件；基底包括Si基座与空腔，Si基座外形为一长方体，Si基座的中间设置有喇叭状的通孔，通孔孔径较小的一端位于Si基座的上表面，Si基座的上表面紧贴于复合弹性支撑层的下表面，通孔与复合弹性支撑层之间形成空腔；空腔顶面对应的复合弹性支撑层的部分为弹性膜片，空腔侧面为通孔的内壁，空腔的底面为开放区域，所述弹性膜片用于形成振膜，空腔的顶面和侧面形成声波反射界面；检测元件包括FBAR、引线、焊盘，FBAR通过引线与焊盘连接。