[发明专利]构造物的表面检查装置以及表面检查方法在审
| 申请号： | 201510056790.X | 申请日： | 2015-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN104949985A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 小西孝明;松井哲也;永岛良昭;中野博之;沟田裕久 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种构造物的表面检查装置以及表面检查方法，能够更高速地进行构造物的表面检查，能够实现检查效率的提高。该构造物的表面检查装置具备：压力变化发生装置(5)，其在沿作为检查对象的构造物(1)的表面的方向移动，使构造物(1)的表面发生压力变化，该作为检查对象的构造物(1)在表面设有根据应力发光的应力发光构造部(2)；拍摄装置(6)，其与压力变化发生装置(5)一体移动，对构造物(1)的表面的产生了压力变化的区域进行拍摄；以及缺陷检测部(7)，其基于通过拍摄装置(6)得到的构造物(1)的图像，检测构造物(1)的表面的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 构造 表面 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种构造物的表面检查装置，其特征在于，具备：压力变化发生单元，其在沿作为检查对象的构造物的表面的方向移动，使所述构造物的表面发生压力变化，该作为检查对象的构造物在表面设有根据应力发光的应力发光构造部；拍摄装置，其与所述压力变化发生单元一体移动，对所述构造物的表面的产生了压力变化的区域进行拍摄；以及缺陷检测部，其基于通过所述拍摄装置得到的所述构造物的图像，检测所述构造物的表面的缺陷。
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