[发明专利]一种反射型无透镜数字全息测量装置

摘要

本发明涉及一种反射型无透镜数字全息测量装置，技术特征在于：激光器1产生的激光束先后经过光纤2、扩束准直单元3、光束聚焦单元4和分光镜6后产生两束光波；其中一束光波经平面镜7反射后作为参考光进入成像设备9；另一束光波经被测物体8表面反射后作为物光进入成像设备9；调节平面镜7来控制参考光与物光的夹角，使物光与参考光干涉产生离轴数字全息图并由成像设备9记录；最终通过数字全息原理计算得到被测物体的信息。该装置采用计算机10控制一维数控位移台5来调整光束聚焦单元4在水平轴方向的位置，以实现系统分辨率和放大倍率的连续可调，且结构紧凑、稳定，可用于晶片、微机电系统等组件的三维形貌测量。

主权项

一种反射型无透镜数字全息测量装置，其特征在于，包括激光器1、光纤2、扩束准直单元3、光束聚焦单元4、一维数控位移台5、分光镜6、平面镜7、成像设备9以及计算机10；所述扩束准直单元3、光束聚焦单元4、分光镜6、平面镜7的中心轴与光纤2输出端的中心轴在同一水平线上；被测物体8中心、分光镜6中心和成像设备9中心在同一竖直线上；工作原理如下：激光器1产生激光，激光通过光纤2输入至扩束准直单元3；经扩束准直单元3后形成平行光传输至光束聚焦单元4；此时平行光经光束聚焦单元4和分光镜6后产生两束光波；其中一束光波经平面镜7反射后作为参考光进入成像设备9；另一束光波经被测物体8表面反射后作为物光进入成像设备9；调节平面镜7来控制参考光与物光的夹角，使物光与参考光干涉产生一幅离轴数字全息图并由成像设备9记录；最终通过数字全息原理计算得到被测物体的信息。