[发明专利]可进行在线叠对精度监测的测试元结构有效
| 申请号： | 201510056946.4 | 申请日： | 2015-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105990316B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 韩昊名;徐逸群;庄易晔;黎恙良;王宣权 | 申请（专利权）人： | 力晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可进行在线叠对精度监测的测试元结构，包含有一半导体基底，其上具有一芯片电路区域以及一非芯片电路区域；一接地面，设于该非芯片电路区域内；至少一接触插塞，设于该接地面上，并耦接至该接地面；以及至少一对测试线，设于该接触插塞上，使该接触插塞位于该对测试线之间。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片电路 接触插塞 测试线 接地面 半导体基底 测试 接地 监测 耦接 | ||
【主权项】：
1.一种测试元结构，包含有：半导体基底，其上具有芯片电路区域以及非芯片电路区域；接地面，设于该非芯片电路区域内；至少一接触插塞，设于该接地面上，并耦接至该接地面；以及至少一对测试线，设于该接触插塞上，使该接触插塞位于该对测试线之间。
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