[发明专利]一种高斯激光束整形方法和装置及精密激光微孔加工装置

摘要

本发明涉及激光应用领域，具体涉及一种高斯激光束整形方法和装置以及精密激光微孔加工装置。沿光路依次设置扩束装置、整形装置、初聚透镜、小孔光阑、准直装置、光束偏转装置及聚焦透镜，高斯激光束经扩束装置扩束后进入整形装置整形为平顶激光束，平顶激光束先经小孔光阑拦截、初聚透镜初步会聚后进入准直装置进行准直，再经光束偏转装置改变其传播方向后，由聚焦透镜聚焦得到用于微孔加工的激光束。高斯激光束整形为平顶激光束输出，提高了激光的利用率及加工效率，减少了能量损失；同时由聚焦透镜聚焦得到的平顶激光束在用于微孔加工时，通孔及盲孔的孔边缘光滑，减小了孔的锥度，同时避免了盲孔底部受损，得到底部平坦的盲孔。

主权项

1.一种高斯激光束整形方法，包括以下步骤：A、对激光器发出的高斯激光束进行扩束；B、将扩束后的高斯激光束整形为平顶激光束；C、将所述平顶激光束初步会聚后再进行准直，得到平行输出的平顶激光束；D、对所述平行输出的平顶激光束进行聚焦；E、所述步骤C之前还包括通过小孔光阑对所述平顶激光束进行拦截。