[发明专利]薄膜太阳能电池的制造方法

摘要

一种薄膜太阳能电池的制造方法，该太阳能电池包含多个电池单元，该方法包含：进行第二图案化程序，以机械式切割方式，移除两相邻电池单元间一半导体层分离区中的吸收层及缓冲层，以将两相邻电池单元的吸收层及缓冲层分离，再利用另一激光照射至该半导体层分离区。通过本发明可以减少背电极层中的二次形成物层，借以降低背电极层及上电极层间的接触电阻，而增加薄膜太阳能电池的效率。

主权项

一种薄膜太阳能电池的制造方法，该薄膜太阳能电池包含多个电池单元，其特征在于，该方法包含：形成一背电极层于一基板上；进行第一图案化程序，利用一激光切割该背电极层，以形成互相分离的该些电池单元的一背电极；形成一吸收层于该背电极层上；形成一缓冲层于该薄膜层上；进行第二图案化程序，利用以机械式划线方式，移除两相邻电池单元间一分离区中的该吸收层及缓冲层，以将两相邻电池单元的吸收层及缓冲层分离，再利用另一激光照射至该分离区；形成一上电极层于该缓冲层上，并使在该分离区中的该背电极层及该上电极层接触而形成一接触界面；以及进行第三图案化程序，用以将两相邻的电池单元分离。