[发明专利]一种氧化钒纳米棒膜层的制备方法有效
| 申请号： | 201510059742.6 | 申请日： | 2015-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN104710110B | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 罗飞;田野;刘大博;祁洪飞;成波 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | C03C17/23 | 分类号： | C03C17/23;C04B41/50;C01G31/02;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心11008 | 代理人： | 梁瑞林 |
| 地址： | 10009*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于纳米材料制造技术领域，涉及一种氧化钒纳米棒膜层的制备方法。其特征在于，制备的步骤如下制备镀膜溶液；制备湿胶膜；胶膜干燥；胶膜热处理。本发明提出了一种氧化钒纳米棒膜层的制备方法，能够简单快捷的在所需衬底上直接制备出氧化钒纳米棒膜层材料，满足了电子领域对氧化钒纳米膜层材料的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 纳米 棒膜层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化钒纳米棒膜层的制备方法，其特征在于，制备的步骤如下：1.1、制备镀膜溶液：将乙酰丙酮氧钒溶于乙二醇甲醚、乙二醇、酒精或者甲醇溶剂中，加温至40℃～60℃，搅拌1h～10h，得到浓度为0.05mol/L～0.2mol/L的镀膜溶液，静置24h～72h；1.2、制备湿胶膜：将镀膜溶液放入雾化器中，利用喷雾法将镀膜溶液喷覆在清洁的衬底基片上，形成湿胶膜，衬底基片为硅片、石英片或者载玻片；1.3、胶膜干燥：将喷覆有湿胶膜的衬底基片放入热处理炉中进行烘干处理，烘干温度为80℃～150℃，升温速率大于10℃/s，保温时间1min～10min，使湿胶膜干燥定型成膜；1.4、胶膜热处理：将干燥后的衬底基片放置在管式炉中，通入氮氧混合气进行退火处理，其中氮气与氧气的比例是10：1，退火温度为500℃±10℃，退火时间10min～120min，然后冷却至室温后取出衬底基片，即可得到氧化钒纳米棒膜。
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