[发明专利]曝光机自动更换滤波片装置及曝光机在审

专利信息
申请号: 201510059956.3 申请日: 2015-02-04
公开(公告)号: CN104614834A 公开(公告)日: 2015-05-13
发明(设计)人: 袁夏梁 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G02B7/00 分类号: G02B7/00;G03F7/20
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种曝光机自动更换滤波片装置,用于装夹至少一个滤光片,所述曝光机自动更换滤波片装置包括支架、装于支架的转轴、驱动元件及至少一个夹爪,至少一个夹爪用于装夹所述滤光片;所述转轴外周缘相对应所述至少一个夹爪装有延伸臂,所述至少一个夹爪装于延伸臂上,所述驱动元件驱动所述转轴带动所述延伸臂转动,进而带动所述滤光片转动。本发明还提供一种曝光机。
搜索关键词: 曝光 自动 更换 滤波 装置
【主权项】:
一种曝光机自动更换滤波片装置,用于装夹至少一个滤光片,其特征在于,所述曝光机自动更换滤波片装置包括支架、装于支架的转轴、驱动元件及至少一个夹爪,至少一个夹爪用于装夹所述滤光片;所述转轴外周缘相对应所述至少一个夹爪装有延伸臂,所述至少一个夹爪装于延伸臂上,所述驱动元件驱动所述转轴带动所述延伸臂转动,进而带动所述滤光片转动。
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