[发明专利]影像感测器及其形成方法

摘要

本公开提供一种影像感测器及其形成方法。该影像传感器包含红色像素、绿色像素、蓝色像素和红外线像素，红色滤光片、绿色滤光片和蓝色滤光片分别设置在红色像素、绿色像素和蓝色像素中，红外线通过滤光片设置在红外线像素中，以及红外线滤光片与红色滤光片、绿色滤光片和蓝色滤光片堆叠在一起，此红外线滤光片截止至少具有特定波长的红外光。

主权项

1.一种影像传感器，包括：一半导体基底；一图案化缓冲层；一红色像素、一绿色像素、一蓝色像素和一红外线像素；一红色滤光片、一绿色滤光片和一蓝色滤光片，分别设置在该红色像素、该绿色像素和该蓝色像素中；一红外线通过滤光片，设置在该红外线像素中；以及一红外线滤光片，与该红色滤光片、该绿色滤光片和该蓝色滤光片堆叠在一起，其中该红外线滤光片截止至少具有一特定波长的红外光；其中，该图案化缓冲层设置在该半导体基底上方，其中该红色滤光片、该绿色滤光片和该蓝色滤光片设置在该红外线滤光片上，该红外线滤光片形成在该图案化缓冲层上，并且该图案化缓冲层具有一开口位于该红外线像素。