[发明专利]一种面、线CCD组合的原子力探针扫描测量系统及测量方法

摘要

本发明公开了一种面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法，该测量系统包括面、线CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，干涉光源系统，调整系统以及数据处理系统；干涉光源系统用于产生测试的白光光源传输于原子力探针扫描显微镜组件，其产生包含样品信息的干涉条纹；数据处理系统连接所述面、线CCD测量系统，分析所述干涉条纹，由此实现干涉零级条纹的测量，从而获得样品表面信息。按照本发明实现的面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法，能够实现结构简单，高速度，高精度和高分辨率以及直观测量，由此解决原子力探针对焦困难，以及原子力探针微悬臂变形的检测的问题。

主权项

一种面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统，其特征在于，该测量系统包括面、线CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，光源系统，调整系统以及数据处理系统；其中面、线CCD测量系统、光源系统以及原子力探针扫描显微镜组件固定于调整系统上，并可通过所述调整系统实现粗调和精调；光源系统用于产生测试的白光光源传输于原子力探针扫描显微镜组件，其产生包含样品信息的干涉条纹；所述面、线CCD测量系统接收所述包含样品信息的干涉条纹，数据处理系统连接所述面、线CCD测量系统，分析所述干涉条纹，由此实现干涉零级条纹的测量，从而获得样品表面信息；其中面、线CCD测量系统中的面CCD和线CCD通过分光镜(8)处于相互垂直的光路上，接收相同的来自所述原子力探针扫描显微组件的干涉条纹，所述面CCD(11)用于实时处理所述原子力探针扫描显微镜组件产生的携带所述被测样品信息的干涉条纹，所述线CCD(12)用于处理所述干涉条纹中的零级条纹，从而实现对所述样品表面的测量。