[发明专利]基于微透镜修饰探针的光学超分辨率动态成像系统和方法在审

专利信息
申请号: 201510061494.9 申请日: 2015-02-05
公开(公告)号: CN105988021A 公开(公告)日: 2016-10-05
发明(设计)人: 刘连庆;王飞飞;于鹏;李文荣;刘柱;王越超 申请(专利权)人: 中国科学院沈阳自动化研究所
主分类号: G01Q60/00 分类号: G01Q60/00;G01Q60/24;G01N21/84
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 许宗富;周秀梅
地址: 110016 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及基于微透镜修饰扫描探针的光学动态成像系统,包括扫描探针显微镜和微透镜;所述扫描探针显微镜的探针上设有微透镜,扫描探针显微镜的纳米定位机构上设有样品台,扫描探针显微镜的光学显微镜位于探针以及样品台上方。方法包括:在扫描探针显微镜的探针上固定微透镜;将光学显微镜的工作平面聚焦到微透镜的像平面上;扫描探针显微镜实时反馈探针的位置,同时光学显微镜获取通过微透镜所呈现的超分辨率图像并发送至计算机显示。本发明能够实现光学超分辨率动态观测成像,并且有效解决扫描探针类显微镜在扫描成像初期对纳米物体进行视觉观测定位问题,以及纳米操作时的实时视觉反馈问题,从而提高纳米观测和纳米操作的效率。
搜索关键词: 基于 透镜 修饰 探针 光学 分辨率 动态 成像 系统 方法
【主权项】:
基于微透镜修饰探针的光学超分辨率动态成像系统,其特征在于:包括扫描探针显微镜(1)和微透镜(3);所述扫描探针显微镜(1)的探针(2)上设有微透镜(3),扫描探针显微镜(1)的纳米定位机构(6)上设有样品台(5),扫描探针显微镜(1)的光学显微镜(4)位于探针(2)以及样品台上方。
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