[发明专利]一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感有效
| 申请号： | 201510061511.9 | 申请日： | 2015-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN105990321B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 刘志权;高丽茵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L21/02;H01F37/00;H01F27/24 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感，属于微电感器件技术领域。该电感包括薄膜磁芯和线圈，所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜，其中：所述薄膜磁芯作为线圈的内芯，即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外；或者，所述薄膜磁芯作为外芯，即线圈包裹于薄膜磁芯之内。本发明通过调整磁芯材料铁、镍、磷、稀土多元合金的成分与制备工艺，可实现各向异性、矫顽力小、电阻率高、磁感应强度高的性能，从而使电感器的损耗减少、工作频率和品质因子提高，在微电子器件领域有良好的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 多元 合金 微型 薄膜 电感 | ||
【主权项】：
1.一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感，其特征在于：该电感包括薄膜磁芯和线圈，所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜，薄膜磁芯厚度为0.5～30μm，其中：所述薄膜磁芯作为线圈的内芯，即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外；或者，所述薄膜磁芯作为外芯，即线圈包裹于薄膜磁芯之内；所述铁镍多元合金薄膜中，铁元素含量为20‑65wt.％，镍元素含量为20‑70wt.％，铁和镍两者含量之和为70‑90wt.％，稀土元素含量为0.1‑5wt.％，其余为磷；其中：所述稀土元素为La、Ce、Nd、Eu、Sm和Gd中的任意一种或两种。
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