[发明专利]一种集成磁光功能的玻璃基离子交换光波导芯片有效
| 申请号： | 201510062105.4 | 申请日： | 2015-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN104656187B | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;冯泽明;余辉;李宇波;杨建义;周强;江晓清;王明华 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成磁光功能的玻璃基离子交换光波导芯片。玻璃表面上需要磁光功能的区域具有铁磁金属纳米颗粒掺杂区；通过离子交换方法在玻璃中形成条形离子扩散区，在铁磁金属纳米颗粒掺杂区中形成具有磁光功能的条形离子扩散区；条形离子扩散区的折射率高于玻璃的折射率，具有磁光功能的条形离子扩散区的折射率高于铁磁金属纳米颗粒掺杂区的折射率，条形离子扩散区和具有磁光功能的条形离子扩散区共同构成条形光波导的芯部。本发明在光波导芯片上的区域实现磁光波导的制作，实现玻璃上磁光功能的集成，且制作工艺简单，耦合效率高等特点，为实现玻璃基集成光学芯片的磁光功能的集成提供了新的结构，使玻璃基集成光学芯片的设计更加灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 功能 玻璃 离子交换 波导 芯片 | ||
【主权项】：
一种集成磁光功能的玻璃基离子交换光波导芯片，其特征在于：玻璃基片(3)表面上需要磁光功能的区域具有铁磁金属纳米颗粒掺杂区(6)；通过离子交换方法在玻璃基片(3)中形成条形离子扩散区(4)，在铁磁金属纳米颗粒掺杂区(6)中形成具有磁光功能的条形离子扩散区(7)；条形离子扩散区(4)的折射率高于玻璃基片(3)的折射率，具有磁光功能的条形离子扩散区(7)的折射率高于铁磁金属纳米颗粒掺杂区(6)的折射率，条形离子扩散区(4)和具有磁光功能的条形离子扩散区(7)共同构成条形光波导的芯部。
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