[发明专利]端面斜反射光波导傅立叶光谱仪

摘要

本发明提供了一种端面斜反射光波导傅立叶光谱仪。该傅立叶光谱仪在保持调制电极长度不变的情况下，通过采用端面斜反射结构进一步增加了两臂光程差，并且随波导端面斜反射结构数量的增加而提高，是传统的基于标准马赫‑曾德尔干涉仪结构的集成光波导傅立叶光谱仪的2倍以上，进而提高了集成光波导傅立叶光谱仪的分辨率。此外，该端面斜反射光波导傅立叶光谱仪还具有体积小、重量轻、功耗低、用途广泛等优点。

主权项

一种端面斜反射光波导傅立叶光谱仪，包括：光源(2)；电光调制芯片(1)，其上形成一干涉仪结构，该干涉仪结构至少具有一干涉臂，该干涉臂包括若干段光波导，该若干段光波导中，至少一段光波导的两侧具有用于电光调制的薄膜电极；光电探测器(3)，其接收由所述干涉仪结构输出的干涉光信号，并将其转换为电信号；信号处理芯片(5)，与所述光电探测器(3)相连接，用于对其输出的电信号进行处理；电压函数发生器(4)，电性连接于所述薄膜电极，用于对该薄膜电极施加电调制信号，使相应的光波导的折射率发生变化；其特征在于，在同一干涉臂中，至少两段相邻的光波导之间具有端面斜反射结构，该端面斜反射结构包括：出光波导的出光端面、入光波导的入光端面和反射结构，所述出光端面和入光端面完全或部分重合，出光波导和入光波导沿出光端面和入光端面的重合面的法线对称设置，且所述反射结构位于该重合面处，由出光波导射出的光信号经由该反射结构反射后，进入入光波导。