[发明专利]一种掩模图形灰度化方法有效
| 申请号： | 201510064898.3 | 申请日： | 2015-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN105989589B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李玉龙;施忞;王天寅;许琦欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/10 | 分类号： | G06T7/10;G06T3/40;G03F1/76 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种掩模图形灰度化方法，其特征在于，包括：步骤一：将原始掩模图形转换后进行特征图形识别；步骤二：根据已识别出来的所述特征图形计算各自特征值；步骤三：判断所述的各自特征值，是否小于一临界值？依此将所述原始掩模图形中的所述特征图像进行分离为HP图形单元和HE图形单元；步骤四：对分离后的所述HP图形单元进行HP灰度化或者对分离后的所述HE图形单元进行HE灰度化；步骤五：对所述HP灰度化及所述HE灰度化的数字掩模按照所述原始掩模图形中的位置进行拼接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 灰度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩模图形灰度化方法，其特征在于，包括：步骤一：将原始掩模图形转换后进行特征图形识别；步骤二：根据已识别出来的所述特征图形计算各自特征值；步骤三：判断所述的各自特征值是否小于一临界值,依此将所述原始掩模图形中的所述特征图形进行分离为HP图形单元和HE图形单元；步骤四：对分离后的所述HP图形单元进行HP灰度化,对分离后的所述HE图形单元进行HE灰度化；步骤五：对所述HP灰度化及所述HE灰度化的数字掩模按照所述原始掩模图形中的位置进行拼接。
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