[发明专利]一种新型背钝化太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种新型背钝化太阳能电池的制备方法，包括清洗制绒步骤、扩散制结步骤、刻蚀并去除PSG步骤、背表面抛光步骤、钝化膜及保护膜沉积步骤、丝网印刷步骤和烧结步骤，在完成所述刻蚀并去除PSG步骤以及背表面抛光步骤后，在背表面放置一层掩膜层，然后进行钝化膜及保护膜沉积步骤，所述掩膜层的形状为背电极和背电场组合的形状；钝化膜及保护膜沉积步骤后将掩膜层取走，省略了开膜步骤。本发明简化了生产工艺步骤，降低了生产成本，且丝网印刷方式更有利于大规模的产业化。

主权项

一种新型背钝化太阳能电池的制备方法，包括清洗制绒步骤、扩散制结步骤、刻蚀并去除PSG步骤、背表面抛光步骤、钝化膜及保护膜沉积步骤、丝网印刷步骤和烧结步骤，其特征在于：在完成所述刻蚀并去除PSG步骤以及背表面抛光步骤后，在背表面放置一层掩膜层，然后进行钝化膜及保护膜沉积步骤，所述掩膜层的形状为背电极（1）和背电场（2）组合的形状；钝化膜及保护膜沉积步骤后将掩膜层取走，省略了开膜步骤。