[发明专利]一种无电极式半导体气体传感器及其制备方法有效
申请号: | 201510067819.4 | 申请日: | 2015-02-09 |
公开(公告)号: | CN104614413B | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 罗真;刘欢;徐宋曼;罗家俊;刘铁峰;李康华;李敏;唐江;周印华 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心42201 | 代理人: | 廖盈春 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种无电极式半导体气体传感器及其制备方法。采用无电极式设计,利用灵敏度高、导电性能好的胶态纳米晶复合材料制作气敏层,将其于室温下涂覆在绝缘衬底上形成器件,无需使用额外的信号电极,器件结构和工艺步骤简单,且利于降低成本,适于批量生产,而且适于制作成柔性气体传感器。本发明的气体传感器具有轻、薄、短、小和便携性好的特点,而且工作温度低,具有良好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 电极 半导体 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种无电极式半导体气体传感器,其特征在于,包括绝缘衬底和气敏层;所述气敏层直接覆盖在所述绝缘衬底上,且由胶态纳米晶和导电材料构成;所述导电材料为石墨烯或导电聚合物,所述气敏层有以下三种组成方式:(a)所述气敏层由胶态纳米晶与石墨烯复合而成;所述胶态纳米晶为硫化铅胶态纳米晶或硒化铅胶态纳米晶,所述气敏层中Pb原子和C原子的摩尔比为1:(0.5~12);(b)所述气敏层由导电聚合物薄膜和胶态纳米晶薄膜依次堆叠而成;所述胶态纳米晶薄膜为硫化物胶态纳米晶薄膜或氧化物胶态纳米晶薄膜,所述胶态纳米晶薄膜与所述导电聚合物薄膜的厚度之比为1:(0.5~2);(c)所述气敏层由胶态纳米晶与导电聚合物复合而成;所述胶态纳米晶为硫化物胶态纳米晶或氧化物胶态纳米晶,所述导电聚合物与所述胶态纳米晶的质量之比为1:(250~2500)。
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