[发明专利]一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

摘要

本发明公开了一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、两组冷辊、回转换靶装置和纠偏装置，开卷机构和收卷机构之间的基带经过换向辊换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊上，开卷机构和收卷机构处各设置一组纠偏装置，且开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动；两组冷辊缠绕有基带的圆周表面上各对应设置有一组两面开口的阴极小室，两组阴极小室各对应设置一组回转换靶装置。本发明在无需打开镀膜真空室的情况下即可及时快速地更换阴极靶，并利用双冷辊及基材的往复运动设计实现了双面多层功能膜的连续镀制，提高了镀膜效率；基材两面的每层功能膜均单独镀制，便于膜层参数控制。

主权项

一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空室（1）、设于真空室（1）两侧的开卷室（2）和收卷室（9）、设于开卷室（2）内的开卷机构（201）、设于收卷室（9）内的收卷机构（901）和设于真空室（1）内的两组冷辊（8），其特征在于：还包括回转换靶装置（10）和纠偏装置（5），所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）之间的基带（4）经过换向辊（7）换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊（8）上，所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）处各设置一组纠偏装置（5），且开卷机构（201）和收卷机构（901）带动基带（4）实现往复运动；所述的两组冷辊（8）缠绕有基带（4）的圆周表面上各对应设置有一组两面开口的阴极小室（11），两组阴极小室（11）各对应设置一组回转换靶装置（10），且每组回转换靶装置（10）、阴极小室（11）和冷辊（8）位于同一轴线上；所述的回转换靶装置（10）包括机座（1001）、回转盘（1004）、驱动回转盘（1004）转动的回转机构、驱动回转盘（1004）沿轴向伸缩的轴向伸缩机构（1002）、安装于回转盘（1004）上的两个以上的伸缩轴套（1005）、安装于伸缩轴套（1005）上的用于安装靶芯（12）的极靶座板（1006）和安装于机座（1001）上且与阴极小室（11）的开口方向相对的径向伸缩机构（1007），所述的回转盘（1004）为设有内腔的桶状结构，所述的伸缩轴套（1005）安装于回转盘（1004）的侧壁上，当轴向伸缩机构（1002）收缩后，所述的径向伸缩机构（1007）刚好与一个伸缩轴套（1005）相对应，用于将极靶座板（1006）向外顶出并嵌入阴极小室（11）内。