[发明专利]一种用于制作氧化铝薄膜的溅射靶材及其制作方法有效
| 申请号： | 201510068592.5 | 申请日： | 2015-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN105986228B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 吴永俊;余云鹏;沈奕;林钢;张汉焱;余荣;林德志;黄仁松 | 申请（专利权）人： | 汕头超声显示器技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;B22F3/15 |
| 代理公司： | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人： | 林天普;丁德轩 |
| 地址： | 515065 广东省汕头市龙湖区龙江*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及种用于制作氧化铝薄膜的溅射靶材及其制作方法，这种用于制作氧化铝薄膜的溅射靶材，溅射靶材由氧化铝粉和金属铝粉的混合粉末热压而成；溅射靶材中，部分氧化铝粉和部分金属铝粉相互接触并相互渗透而形成连续的非化学配比氧化铝，另外的氧化铝粉和另外的金属铝粉则保持原来的颗粒状态。由于形成的非化学配比氧化铝AlnOm缺少氧，具有掺杂半导体特性，这种非化学配比氧化铝也具有较好的导电性；这种溅射靶材本身就含有氧化铝和非化学配比氧化铝，在溅射靶材的表面无法形成致密的氧化铝钝化层，在实际直流溅射时，非常容易起辉，可以随时使用、随时停止，使用相当方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制作 氧化铝 薄膜 溅射 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制作氧化铝薄膜的溅射靶材，其特征是：所述溅射靶材由氧化铝粉和金属铝粉的混合粉末热压而成；溅射靶材中，部分氧化铝粉和部分金属铝粉相互接触并相互渗透而形成连续的非化学配比氧化铝，从而形成连续的非化学配比氧化铝的空间网络结构，而另外的氧化铝粉和另外的金属铝粉则被包裹在空间网络结构中，非化学配比氧化铝的化学式表示为AlnOm，其中n/m＞2/3，另外的氧化铝粉和另外的金属铝粉则保持原来的颗粒状态。
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